产品与服务

真空镀膜

华远装备核心技术团队2010年开始从事真空镀膜设备及光伏行业自动化设备/产线的设计制造及调试服务。

卷绕式真空镀膜设备

真空镀膜插图

 

序号项目技术参数
1产能37.5MW
2沉积速度24英寸/分钟
6设备运行比率≥85%
7靶材利用率≥80%
8衬底不锈钢(50微米厚,1米宽)
9良率≥95%

磁控溅射镀膜设备

真空镀膜插图1
   
1产能14400片@G12半片
2节拍48s
6设备运行比率≥90%
7靶材利用率≥80%
8兼容性可兼容M2/G1/M6/M10/G12等各类型硅片
9良率≥99.5%(基于由设备本身产生的不良进行计算)
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