MES智慧管理系统
HY-MES系统即制造执行系统,是安徽华远装备科技有限公司自主研发,构建于中国自有知识产权的基础业务平台之上,基于物联网的解决方案,能有效优化企业的生产管理模式,强化过程管理和控制,实现透明化车间,为企业生产创造巨大的价值。
HY-MES系统即制造执行系统,是安徽华远装备科技有限公司自主研发,构建于中国自有知识产权的基础业务平台之上,基于物联网的解决方案,能有效优化企业的生产管理模式,强化过程管理和控制,实现透明化车间,为企业生产创造巨大的价值。
1)各功能性膜层可以在一台高度集成的多腔室设备中,在不破真空的条件下,一步工序完成生长(All-in-one)
2) 各膜层的生长都是溅射工艺完成
3) 工艺制程的精确控制,获得高产能、高良率和低成本的生产技术
整套卧式在线晶圆连续镀膜设备,可同时在晶圆上实现双面镀膜,并附带载板返回系统,在进片侧实现基片的上、下料。