设备功能特点:

1)独特的不破真空连续镀膜设计,一站式镀膜,40分钟完成原材料投入到芯片产出;

2)基于50微米不锈钢衬底制作,具有坚固、超薄、超轻、超柔、可随意裁切等特点;

3)巧妙的阴极结构和腔体设计,高镀膜均匀性和工艺稳定性;

4)精准的自动张力控制系统,具有张力、速度稳定,运作快速的特点。

 

应用场景:

1)铜铟镓硒(CIGS)柔性不锈钢基底光伏镀膜

2)柔性面板镀膜

3)其它柔性基底镀膜

 

竞品优势分析:

1)各功能性膜层可以在一台高度集成的多腔室设备中,在不破真空的条件下,一步工序完成生长

2)工艺制程的精确控制,获得高产能、高良率和低成本的生产技术

3)目前尚无同类竞争产品

 

序号

项目 技术参数

1

产能 37.5MW

2

沉积速度

24英寸/分钟

3

设备运行比率

≥85%

4

靶材利用率

≥80%

5

衬底

不锈钢(50微米厚,1米宽)

6 良率

≥95%

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