1）各功能性膜层可以在一台高度集成的多腔室设备中，在不破真空的条件下，一步工序完成生长(All-in-one)
2） 各膜层的生长都是溅射工艺完成
3） 工艺制程的精确控制，获得高产能、高良率和低成本的生产技术
