产品与服务 真空镀膜 华远装备核心技术团队2010年开始从事真空镀膜设备及光伏行业自动化设备/产线的设计制造及调试服务。 卷绕式真空镀膜设备 序号项目技术参数1产能37.5MW2沉积速度24英寸/分钟6设备运行比率≥85%7靶材利用率≥80%8衬底不锈钢(50微米厚,1米宽)9良率≥95% 磁控溅射镀膜设备 1产能14400片@G12半片2节拍48s6设备运行比率≥90%7靶材利用率≥80%8兼容性可兼容M2/G1/M6/M10/G12等各类型硅片9良率≥99.5%(基于由设备本身产生的不良进行计算)