华远设备产品

产品类别

真空镀膜设备

磁控溅射镀膜设备（PVD）

磁控溅射镀膜设备（PVD）

整套卧式在线晶圆连续镀膜设备，可同时在晶圆上实现双面镀膜，并附带载板返回系统，在进片侧实现基片的上、下料。

  1. 一站式双面镀膜，扩展性好，快速均匀的加热系统设计
  2. 通过阴极结构和腔体设计高效配合保证大尺寸载板下镀膜均匀性及重复性
  3. 单台产能≥500MW
真空镀膜设备
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